مسكن » فئة المنتج » مجهر » المجهر الذري » 12 'بوصة صناعة رقاقة مجهر ذري AFM 12

loading

حصة ل:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
sharethis sharing button

12 'بوصة صناعة رقاقة مجهر ذري AFM 12

توافر الحالة:
الكمية:
  • AFM 12

  • CAIDAO

مقدمة المجهر الذري لصناعة الرقاقة

ثلاثة محاور مستقلة منضدة مسح مستوى الجهد الكهربائي ذات الحلقة المغلقة لتحقيق مسح ضوئي عالي الدقة على نطاق واسع ؛

المسح المستقل ثلاثي المحاور ، لا يؤثر XYZ على بعضها البعض ، وهو مناسب جدًا للكشف عن المواد ثلاثية الأبعاد والتضاريس ؛

التحكم الآلي في طاولة تحريك العينة وطاولة الرفع ، والتي يمكن برمجتها بشكل تعسفي لمواضع متعددة لتحقيق الكشف التلقائي السريع ؛

تصميم رأس المسح من نوع القنطرية ، وقاعدة رخامية ، وامتصاص الفراغ ومرحلة الامتزاز المغناطيسي ؛

يتم التحكم في المحرك تلقائيًا عن طريق طريقة إدخال الإبرة الذكية مع الاكتشاف التلقائي للسيراميك الكهروإجهادي لحماية المسبار والعينة ؛

تحديد المواقع بالمجهر الضوئي بمساعدة الطاقة العالية ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد موقع المسبار ومنطقة مسح العينة ؛

لا تتطلب مرحلة المسح الكهرضغطية ذات الحلقة المغلقة تصحيحًا غير خطي ، وتوصيف النانومتر ودقة القياس أفضل من 99.5٪.

معلمات المجهر الذري لصناعة الرقاقات

وضع العمل: وضع التنصت ، وضع الاتصال
الوضع الاختياري: احتكاك ، طور ، مغناطيسي أو إلكتروستاتيكي
منحنى القوة: منحنى قوة FZ ومنحنى RMS-Z
طريقة المسح XY: نموذج طريقة الاقتراب ، مرحلة ترجمة الإغلاق الانضغاطي للحلقة المغلقة
طريقة المسح Z: طريقة التقريب المسبق
نطاق المسح XY: إغلاق الحلقة 100um × 100um
نطاق المسح Z: 5um
دقة المسح: اتجاه الحلقة XY المغلقة 0.5 نانومتر ، اتجاه Z 0.05 نانومتر
مرحلة العينة XY: محرك المحرك ، يتحرك بدقة 1um
نطاق الحركة XY: 100 × 100 مم (اختياري 200 × 200 مم ، 300 × 300 مم)
مرحلة العينة: Dia 100mm (اختياري 200mm ، 300mm)
وزن العينة 0.5 كجم
مقعد مرتفع Z: التحكم في محرك المحرك ، خطوة دقيقة 10 نانومتر
نطاق السفر المرتفع Z: 15 مم (اختياري 20 مم ، 25 مم)
الموقع البصري: 5X len (اختياري 10x / 20X)
الكاميرا: ديجيتال سي سي دي 5 ميجا بيكسل
معدل المسح: 0.6 هرتز -30 هرتز
زاوية المسح: 0-360 درجة
نظام التشغيل: Windows XP / 7/8/10
الواجهة: USB 2.0 / 3.0

تطبيقات المجهر الذري صناعة الرقاقات

على: 
تحت: 

معلومات عنا

أصبحت Caidao مؤسسة وطنية ذات تقنية عالية في قياس الصور البصرية المتطورة وأدوات الفحص المختلفة ، و CMM ، وخدمات البحث والتطوير في مجال الإنتاج والمبيعات لمعدات الاختبار الأوتوماتيكي AOI.

روابط سريعة

منتجات

اترك رسالة
Copryright  2022 Jiangsu Caidao Precision Instrument Co., Ltd.ALL RIGHTS RESERVED. Sitemap | Supported by leadong.com