AFM 12
CAIDAO
ثلاثة محاور مستقلة منضدة مسح مستوى الجهد الكهربائي ذات الحلقة المغلقة لتحقيق مسح ضوئي عالي الدقة على نطاق واسع ؛
المسح المستقل ثلاثي المحاور ، لا يؤثر XYZ على بعضها البعض ، وهو مناسب جدًا للكشف عن المواد ثلاثية الأبعاد والتضاريس ؛
التحكم الآلي في طاولة تحريك العينة وطاولة الرفع ، والتي يمكن برمجتها بشكل تعسفي لمواضع متعددة لتحقيق الكشف التلقائي السريع ؛
تصميم رأس المسح من نوع القنطرية ، وقاعدة رخامية ، وامتصاص الفراغ ومرحلة الامتزاز المغناطيسي ؛
يتم التحكم في المحرك تلقائيًا عن طريق طريقة إدخال الإبرة الذكية مع الاكتشاف التلقائي للسيراميك الكهروإجهادي لحماية المسبار والعينة ؛
تحديد المواقع بالمجهر الضوئي بمساعدة الطاقة العالية ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد موقع المسبار ومنطقة مسح العينة ؛
لا تتطلب مرحلة المسح الكهرضغطية ذات الحلقة المغلقة تصحيحًا غير خطي ، وتوصيف النانومتر ودقة القياس أفضل من 99.5٪.
وضع العمل: وضع التنصت ، وضع الاتصال
الوضع الاختياري: احتكاك ، طور ، مغناطيسي أو إلكتروستاتيكي
منحنى القوة: منحنى قوة FZ ومنحنى RMS-Z
طريقة المسح XY: نموذج طريقة الاقتراب ، مرحلة ترجمة الإغلاق الانضغاطي للحلقة المغلقة
طريقة المسح Z: طريقة التقريب المسبق
نطاق المسح XY: إغلاق الحلقة 100um × 100um
نطاق المسح Z: 5um
دقة المسح: اتجاه الحلقة XY المغلقة 0.5 نانومتر ، اتجاه Z 0.05 نانومتر
مرحلة العينة XY: محرك المحرك ، يتحرك بدقة 1um
نطاق الحركة XY: 100 × 100 مم (اختياري 200 × 200 مم ، 300 × 300 مم)
مرحلة العينة: Dia 100mm (اختياري 200mm ، 300mm)
وزن العينة 0.5 كجم
مقعد مرتفع Z: التحكم في محرك المحرك ، خطوة دقيقة 10 نانومتر
نطاق السفر المرتفع Z: 15 مم (اختياري 20 مم ، 25 مم)
الموقع البصري: 5X len (اختياري 10x / 20X)
الكاميرا: ديجيتال سي سي دي 5 ميجا بيكسل
معدل المسح: 0.6 هرتز -30 هرتز
زاوية المسح: 0-360 درجة
نظام التشغيل: Windows XP / 7/8/10
الواجهة: USB 2.0 / 3.0
ثلاثة محاور مستقلة منضدة مسح مستوى الجهد الكهربائي ذات الحلقة المغلقة لتحقيق مسح ضوئي عالي الدقة على نطاق واسع ؛
المسح المستقل ثلاثي المحاور ، لا يؤثر XYZ على بعضها البعض ، وهو مناسب جدًا للكشف عن المواد ثلاثية الأبعاد والتضاريس ؛
التحكم الآلي في طاولة تحريك العينة وطاولة الرفع ، والتي يمكن برمجتها بشكل تعسفي لمواضع متعددة لتحقيق الكشف التلقائي السريع ؛
تصميم رأس المسح من نوع القنطرية ، وقاعدة رخامية ، وامتصاص الفراغ ومرحلة الامتزاز المغناطيسي ؛
يتم التحكم في المحرك تلقائيًا عن طريق طريقة إدخال الإبرة الذكية مع الاكتشاف التلقائي للسيراميك الكهروإجهادي لحماية المسبار والعينة ؛
تحديد المواقع بالمجهر الضوئي بمساعدة الطاقة العالية ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد موقع المسبار ومنطقة مسح العينة ؛
لا تتطلب مرحلة المسح الكهرضغطية ذات الحلقة المغلقة تصحيحًا غير خطي ، وتوصيف النانومتر ودقة القياس أفضل من 99.5٪.
وضع العمل: وضع التنصت ، وضع الاتصال
الوضع الاختياري: احتكاك ، طور ، مغناطيسي أو إلكتروستاتيكي
منحنى القوة: منحنى قوة FZ ومنحنى RMS-Z
طريقة المسح XY: نموذج طريقة الاقتراب ، مرحلة ترجمة الإغلاق الانضغاطي للحلقة المغلقة
طريقة المسح Z: طريقة التقريب المسبق
نطاق المسح XY: إغلاق الحلقة 100um × 100um
نطاق المسح Z: 5um
دقة المسح: اتجاه الحلقة XY المغلقة 0.5 نانومتر ، اتجاه Z 0.05 نانومتر
مرحلة العينة XY: محرك المحرك ، يتحرك بدقة 1um
نطاق الحركة XY: 100 × 100 مم (اختياري 200 × 200 مم ، 300 × 300 مم)
مرحلة العينة: Dia 100mm (اختياري 200mm ، 300mm)
وزن العينة 0.5 كجم
مقعد مرتفع Z: التحكم في محرك المحرك ، خطوة دقيقة 10 نانومتر
نطاق السفر المرتفع Z: 15 مم (اختياري 20 مم ، 25 مم)
الموقع البصري: 5X len (اختياري 10x / 20X)
الكاميرا: ديجيتال سي سي دي 5 ميجا بيكسل
معدل المسح: 0.6 هرتز -30 هرتز
زاوية المسح: 0-360 درجة
نظام التشغيل: Windows XP / 7/8/10
الواجهة: USB 2.0 / 3.0